Композиционные ионно-плазменные покрытия

Abstract

В статье приведены результаты исследования процесса формирования ионно-плазменных многофаз- ных покрытий. Показано, что типы возникающих при этом структур не столь многообразны, как, на- пример, при кристаллизации сплавов. В основном наблюдаются глобулярная структура и, реже, не- замкнутые диссипативные и ячеистые структуры. Отмечено, что механические и трибологические свойства формируемых при осаждении покрытий во многом определяются их поверхностной энерги- ей или поверхностным натяжением. Поскольку величина поверхностного натяжения (поверхностной энергии) в большинстве случаев есть величина аддитивная, то каждый элемент, входящий в состав покрытия, вносит свой вклад в общую поверхностную энергию. В случае одновременного распыления многофазных катодов формируются высокоэнтропийные покрытия, обладающие упорядоченной структурой и повышенными механическими свойствами.