Разработка электронной схемы коммутации вакуумной системы на базе микросхемы TL494 CN

Abstract

Разработана электрическая схема управления и коммутации вакуумной системы поста, собранного из комплектующих деталей и частей вышедших из строя установок ВУП-4 и ВУП-5. Показано, что при разработке блоков питания наряду с традиционными деталями могут быть использованы специальные микросхемы серии TL494CN, значительно упрощающие схему. Использование предложенного вакуумного поста в научно-исследовательской работе позволит получить более качественные пленки и покрытия. Тестовые испытания разработанной платы коммутации показали положительные результаты.