Исследование оптимального метода получения пленок нестехиометрического нитрида кремния с целью максимального выхода фотолюминесценции
| dc.contributor.author | Акилбеков, А.Т. | |
| dc.contributor.author | Мурзалинов, Д.О. | |
| dc.date.accessioned | 2016-09-15T09:19:52Z | |
| dc.date.available | 2016-09-15T09:19:52Z | |
| dc.date.issued | 2016-06-30 | |
| dc.description.abstract | В статье раскрыта актуальность создания источника света на основе нитрида кремния. Показаны отличие стехиометрического от нестехиометрического нитрида кремния и зависимость свойств фото- люминесценции от содержания кремния. Оптические свойства пленок исследовались с помощью фотолюминесценции. Дальнейшая термообработка в различных средах показала, что при отжиге при 1100 ºС интенсивность фотолюминесценции отсутствует, а в процессе отжига при 800 ºС фотолюминесценция возрастает. Отмечено, что наибольший выход фотолюминесценции был обнаружен в среде воздуха, наименьший — в среде азота. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 0142-0843 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.buketov.edu.kz/handle/data/112 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Вестник Карагандинского университета | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Физика; | |
| dc.subject | нитрид кремния | ru_RU |
| dc.subject | оксид кремния | ru_RU |
| dc.subject | люминесценция | ru_RU |
| dc.subject | нанокластеры | ru_RU |
| dc.subject | стехиометрический порядок | ru_RU |
| dc.title | Исследование оптимального метода получения пленок нестехиометрического нитрида кремния с целью максимального выхода фотолюминесценции | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |