Исследование оптимального метода получения пленок нестехиометрического нитрида кремния с целью максимального выхода фотолюминесценции

Abstract

В статье раскрыта актуальность создания источника света на основе нитрида кремния. Показаны отличие стехиометрического от нестехиометрического нитрида кремния и зависимость свойств фото- люминесценции от содержания кремния. Оптические свойства пленок исследовались с помощью фотолюминесценции. Дальнейшая термообработка в различных средах показала, что при отжиге при 1100 ºС интенсивность фотолюминесценции отсутствует, а в процессе отжига при 800 ºС фотолюминесценция возрастает. Отмечено, что наибольший выход фотолюминесценции был обнаружен в среде воздуха, наименьший — в среде азота.