Вакуумно-плазменное и физико-термическое оборудование для инновационных технологий

Simple item page
dc.contributor.authorОдиноков, В.В.
dc.contributor.authorДолгополов, В.М.
dc.contributor.authorПавлов, Г. Я.
dc.contributor.authorРащинский, В.П.
dc.contributor.authorШпаков, А.Н.
dc.contributor.authorШубников, А.Н.
dc.date.accessioned2019-04-06T07:17:31Z
dc.date.available2019-04-06T07:17:31Z
dc.date.issued2013-07
dc.description.abstractВ НИИТМ разработан комплекс экспериментального и опытно-промышленного вакуумно- плазменного и физико-термического оборудования. Оно предназначено для обеспечения учебных процессов; проведения научных исследований; отработки технологических процессов; мелкосерийного и экспериментального производства. Новые разработки НИИТМ — это автоматизированные технологические установки с высокой степенью унификации. Они позволяют реализовать целый ряд технологических процессов нанесения тонких пленок и покрытий. Реакторы установок обеспечиваю реализацию инновационных технологических процессов и выполнены на высоком техническом уровне с использованием ряда уникальных схемотехнических и конструктивных решений. Модульный принцип организации установок позволяет гибко удовлетворять индивидуальные потребности заказчика путем оснащения установок соответствующими функциональными блоками с конструктивными минимальными изменениями.ru_RU
dc.identifier.citationВакуумно-плазменное и физико-термическое оборудование для инновационных технологий/В.В.Одиноков[ит.д]// Қарағанды универисетінің хабаршысы. Физика Сериясы.=Вестник Карагандинского университета. Серия Физика.=Bulletin of the Karaganda University. Physics Series.-2013.-№3(71).-pp.67-75ru_RU
dc.identifier.issn0142-0843
dc.identifier.urihttps://rep.buketov.edu.kz:80//handle/data/4893
dc.language.isootherru_RU
dc.publisherИзд-во КарГУru_RU
dc.relation.ispartofseriesСерия Физика;№3(71)
dc.subjectвакуумно-плазменное оборудованиеru_RU
dc.subjectфизико-термическое оборудованиеru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectгазофазное осаждениеru_RU
dc.subjectплазмохимическое травлениеru_RU
dc.titleВакуумно-плазменное и физико-термическое оборудование для инновационных технологийru_RU
dc.typeArticleru_RU

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Одиноков0_PBD_vestniki_2013(71)3_fizika-9.pdf
Size:
2.99 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

3(71)/2013-Физика