Вакуумно-плазменное и физико-термическое оборудование для инновационных технологий

Abstract

В НИИТМ разработан комплекс экспериментального и опытно-промышленного вакуумно- плазменного и физико-термического оборудования. Оно предназначено для обеспечения учебных процессов; проведения научных исследований; отработки технологических процессов; мелкосерийного и экспериментального производства. Новые разработки НИИТМ — это автоматизированные технологические установки с высокой степенью унификации. Они позволяют реализовать целый ряд технологических процессов нанесения тонких пленок и покрытий. Реакторы установок обеспечиваю реализацию инновационных технологических процессов и выполнены на высоком техническом уровне с использованием ряда уникальных схемотехнических и конструктивных решений. Модульный принцип организации установок позволяет гибко удовлетворять индивидуальные потребности заказчика путем оснащения установок соответствующими функциональными блоками с конструктивными минимальными изменениями.