Влияние температуры отжига на электрофизические свойства пленок NiOx

Abstract

В данной работе проведены исследования по влиянию температу ры оксидирования пленок NiOх на электрофизические свойства. Пленки NiOх были получены методом spin-coating из раствора гексагидрат нитрата никеля в этиленгликоле с последующим термическим оксиди рованием в диапазоне 200-450°С. Повышение температуры оксидиро вания приводит к уменьшению толщины формируемых пленок NiOх. Методом импеданс спектроскопии исследованы электротранспортные характеристики пленок NiOх. Возрастание температуры оксидирова ния пленок NiOх приводит к возрастанию значения суммарного сопро 29 тивление (R1) и уменьшению сопротивлиния рекомбинации дырок (R2) на границе разделе NiOх/электрод.