Получение, структура и свойства многофазных ионно-плазменных покрытий

Abstract

В работе обсуждены результаты исследования процесса формирования ионно-плазменных многофазных покрытий. Показано, что типы возникающих при этом структур не столь многообразны, как, например, при кристаллизации сплавов; в основном наблюдается глобулярная структура и, реже, незамкнутые диссипативные и ячеистые структуры. Отмечено, что физические свойства могут существенно отличаться в зависимости от элементного состава покрытий. Определено, поскольку величина поверхностного натяжения (поверхностной энергии) в большинстве случаев есть величина аддитивная, то каждый элемент, входящий в состав покрытия, вносит свой вклад в общую поверхностную энергию. Доказано, что в случае одновременного распыления многофазных катодов формируются высокоэнтропийные покрытия, обладающие упорядоченной структурой и повышенными механическими свойствами.