Влияние параметров лазерного излучения на строение пленок диоксида титана

Abstract

В работе исследованы возможности получения диоксида титана в виде пленок методом импульсной лазерной абляции. Кратко рассмотрена суть процесса лазерной абляции мишени. Установлено, что наноразмерные трубчатые структуры диоксида титана образуются при определенных условиях осаж- дения. Электронное строение образцов исследовано методом энергорассеивающего рентгеновского спектра. Экспериментально полученные величины энергии переходов согласуются с квантово- механическими вычислениями, использующими закон Мозли о теории атомных спектров. Установле- но, что большая часть поверхности пленки равномерная, с шероховатостью 10–15 нм.