ОЖЕ-СПЕКТРОМЕТР С УВЕЛИЧЕННОЙ ПЛОЩАДЬЮ СКАНИРОВАНИЯ

Abstract

Сканерлеудің ауданы үлкейтілген оже-спектрометр жасау үшін электронды-оптикалық жүйе ұсынылған. Ол электростатикалық, сфералық жəне цилиндрлік айналардан құралған. Сондай-ақ жоғары сапалы бұрыштық тоғыстауға ие, бұндай айналар үшін энергия бойынша дисперсия шамасы кəдімгі, ал бойлық үлкейту коэффициенті аздығымен ерекшеленеді. JAMP- 10S оже-микрозондында энергоанализатор ретінде бірлік цилиндрлік айна қолданылады. Ондай айна үшін сызықтық бойлық коэффициенті 1-ге тең екендігі мəлім. The electron-optical system that can be recommended to work out of an Auger-spectrometer of increased area of scanning is offered. The system consists of combination of electrostatic spherical and cylindrical mirrors. It has high quality of angular focusing, the magnitude of dispersion on energy ordinary for the given type of mirrors and, that it is remarkable, the small coefficient of longitudinal increase. In an Auger-microprobe JAMP-10S as an energy analyzer a single cylindrical mirror is used. It is known the coefficient of linear longitudinal increase of cylindrical mirror equal 1.