Разработка техники и методики получения наноструктурированного пористого оксида алюминия методом анодного окисления

Abstract

В работе приведены результаты разработки и изготовления экспериментальной установки для полу- чения двумерных наноструктур методом электрохимического анодирования. Пленки с высокоупоря- доченной пористой структурой получены методом двухстадийного анодирования. С помощью рас- тровой электронной микроскопии установлено, что диаметр пор составляет примерно 50 нм, а рас- стояние между соседними каналами — примерно 105 нм. Определено, что толщина пленок равна 55 мкм, а удельная площадь поверхности пористых пленок оксида алюминия, измеренная методом капиллярной конденсации азота, — 15.3 м2/г.