Наноиндентирование многофазных покрытий

Abstract

В работе приведены результаты измерения нанотвердости многофазных покрытий методом Оливера и Фара с помощью алмазного индентора Берковича. Толщина покрытий измерялась с помощью систе- мы с электронным и сфокусированным ионным пучками Quanta 200–3D. Отмечено, что многофазные покрытия наносились ионно-плазменным методом, с использованием композиционных катодов при токе дуги (55–70)А и при различных временах распыления катодов. Были построены диаграммы на- гружения индентора Берковича. Определена толщина переходного слоя.