КОМПОЗИЦИОННЫЕ КАТОДЫ ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ

Abstract

Мақалада шахта жабдықтарының бөлшектеріне жемірілуге қарсы бүркеулерді жасаудың əдістері қарастырылған. Қазіргі уақытта Қарағанды көмір бассейнінің шахталарында қолданылып жүрген мырыш бүркемелермен салыстыру нəтижелері келтірілген. Салыстыру нəтижелері нитрид — титан негізіндегі бүркемелердің жемірілуге өте төзімді екендігін көрсетеді. Бірақ оларды металл бетіне қондыру алдын ала дайындықты қажет етеді, бұл өз кезегінде детальдың бағасын жоғарылатады. Қуыс катодты плазмогенератордың көмегімен азоттау металл бетінде мырыш бүркемелеріне қарағанда жемірілуге бірнеше есе төзімді бүркемелерді, металдың бетін тазаламай алуға мүмкіндік береді. In work results of research of the composite cathodes used for ionic — plasma processing of materials are resulted. The quantitative analysis of element structure of composite cathodes was carried out on electronic microscope JEOL JSM-5910. By mathematical processing power spectra under special program PHI-RHO-Z concentration of elements researches of a microstructure of the composite cathodes received on an electronic microscope, working in a mode of secondary electronic issue have been determined are lead. It is shown, that the part of composite cathodes represents firm solutions.