КОНСТРУКЦИИ ЭЛЕКТРОННЫХ СПЕКТРОМЕТРОВ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА

Abstract

Корпускулалы-оптикалық электростатикалық жүйелер электрондық спектроскопияның əр түрлі облыстарында, мысалы, микрозондтық электрондық спектроскопияда, фотоэлектрон- дық спектроскопияда, сканерлеу ауданы арттырылған оже-спектроскопияда, энергобұрыш- тық ажыратуға ие болатын фотоэлектрондық спектроскопияда, кедір-бұдырлы беттердің электрондық оже-спектроскопиясында, қос фильтрлі типті анализаторды қолдануымен жүретін электрондық спектроскопияда қолданылады. Мақалада екі ақырғы жағдайлар үшін нақты конструкциялары келтірілген. Бұрын бұл сұлбалардың электронды-оптикалық параметрлері есептелінген болатын. Ұсынылған жүйелердің аналитикалық мүмкіндіктерінің жақсартылғаны көрсетілген. Different area of electron spectroscopy uses corpuscular-optical electrostatic systems. For example, such areas as microprobe electron spectroscopy, photoelectron spectroscopy, auger-spectroscopy with increased scanned area, photoelectron spectroscopy with power angle resolution, electron auger spectroscopy of rough surfaces, electron spectroscopy using a double filter type analyzer. In the work the definite designs for the last two cases are shown. Earlier the electron-optical parameters of these schemes have been calculated. It has been shown, that analytical possibilities of the offered systems are improved.