Диэлектрлі материалдардың беткі қабатына қапталған металл қабықшалардың қалыңдығын анықтау əдісі

Abstract

Мақалада қаптама қалыңдығын өлшеудің əр түрлі əдістерінің артықшылықтары мен кемшіліктері келтірілген. Қазіргі кездегі ғылымның дамуында уақытты үнемдеу негізінде заманауи қондырғылардың көмегімен қаптамалардың қалыңдығын өлшеу, дəлдікті жəне қаптама құрылымын, оның қасиетін нақты анықтауға мүмкіндік береді. Зерттеу жұмысында диэлектрлі материалдардың беткі қабатына фотохимиялық əдіспен төселген ультраұсақ қаптамалардың қалыңдығын анықтаудың жолдары зерттелген. Үлгі ретінде алынған диэлектрлі материалды 10–15 с алтын ерітіндісіне батырып жəне күн көзіне 50–60 мин кептірілген. Ол үлгіні герметикалық камераға орналастырып, сіңірілуі аяқталғанға дейін газ тəрізді фосфинді жібереміз, нəтижесінде сорбциялық қабаттың түзілгенін көруге болады. Сондықтан үлгі бетіндегі қаптаманың қалыңдығы сорбциялық қабаттағы алтын хлоридінің концентрациясына тəуелді болады. Өңделген диэлектрлі материалдардың бетіне фотохимиялық əдіспен төселген қаптамалар үшін, қаптамалардың төсеуге дейінгі жəне төсегеннен кейінгі жіптəрізді үлгілердің электронды суреттерін алу арқылы қаптамалар қалыңдығы өлшенді. Бастапқы жəне өңделген үлгіні растрлі электронды микроскоп арқылы зерттеу жүргізіп, электрондық суреттерін алу арқылы қаптамалардың қалыңдығын өлшеуге болатындығы дəлелденген.