Получение и исследование структурных свойств пленок анодированного титана

Abstract

В статье рассмотрена отработанная методика получения нанопористых пленок оксида титана методом электрохимического анодирования в электролите на основе фторида аммония и этиленгликоля. Отме¬чено, что рассеяние рентгеновского излучения свидетельствует об образовании диоксида титана и по¬казывает наличие как анатазной, так и рутильной фаз ТЮ2. При помощи электронно-микроскопи- ческих измерений определена микроструктура поверхности анодированной пленки. Установлены диаметр пор и межпоровое расстояние, которые зависят от напряжения анодирования. Показано, что с ростом напряжения происходит уменьшение размеров пор и межпорового расстояния. Сравнение результатов аналитических расчетов с электронно-микроскопическими измерениями показало более низкое экспериментальное значение толщины пленки, по сравнению с расчетным значением. Прове¬дено сравнение численного расчета удельной поверхности с результатами эксперимента.