Электронно-микроскопический метод исследования материалов - Ибраев, Н.Х.; Абжанова, Д.Б.; Комутова, А.С. (ҚарМУ баспасы, 2015)
В работе рассматривается использование растрового электронного микроскопа MIRA 3 (TESCAN) в исследованиях микроструктуры материалов. Приведены полученные микроскопические снимки полупроводниковых объектов и диэлектриков, снятых в различных режимах работы микроскопа, а также при разных увеличениях.
Keywords: электронный микроскоп MIRA 3 (TESCAN); микроструктура материалов